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2000 | 금속 선 격자 디바이스 제조 방법

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작성자 관리자 /   작성일2015-08-19 /   조회546회

본문

특허명 : <금속 선 격자 디바이스 제조 방법> (Method for manufacturing metal line grid device)

등록번호(날짜) : 1013728480000 (2014-03-03)

출원국가 : 대한민국
발명자 : 이수미/ 이문규/ 정찬화/ 이정우

초록 : 기판 상에 자기조립 단분자막 나노 패턴을 형성하는 단계; 및 자기조립 단분자막 나노 패턴이 형성된 기판에 무전해 도금을 이용하여 자기조립 단분자막 나노 패턴 사이에 금속 선 격자를 형성하거나 자기조립 단분자막 나노 패턴을 시드층으로 사용하여 무전해 전기 도금에 의해 자기조립 단분자막 나노 패턴 상에 금속 선 격자를 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 선 격자 디바이스 제조 방법이 개시되어 있다.

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